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| 檢測信息 | 檢測能力 | |
| 常規(guī)表面定性定量分析 | 定性定量分析固體樣品表面的主要成分； | 信息深度：<10nm |
分析固體樣品表面除氫和氦以外所有元素組成 ； | （Li~U） | |
分析特征/特定元素對應的化學態(tài)（價態(tài)和化學鍵接）； | 能量分辨：≤0.5eV | |
定量分析所測得的元素和化學態(tài)的相對含量（原子百分比）； | 檢出限：0.1% | |
微區(qū)分析，通過收集樣品表面激發(fā)出來的二次電子得到SXI影像，與分析源同光路可保證精準定位，掃描式小束斑X射線可分析<7.5um區(qū)域內(nèi)的元素組成信息 | X ray：≤7.5um | |
多點分析，可同時對樣品表面多個區(qū)域進行分析 | —— | |
| Mapping分析/Line分析 | 表征不同元素和化學態(tài)在分析區(qū)域的分布情況，從而判定成分分布的均勻性以及特定區(qū)域的成分組成等； | 空間分辨：≤10μm |
| 深度分析 | 深度剖析表征不同成分（元素和化學態(tài)）從表面到深度的縱向分布，可評價擴散、吸附、鈍化的程度以及表征多層膜層結構等； 多種離子槍配置，滿足不同材料的深度分析需求（無機材料——單原子Ar槍/有機材料——Ar團簇離子槍（GCIB）/陶瓷和玻璃材料等——C60團簇離子槍） | 深度分辨：納米尺度 |
| 特殊分析能力 | 大面積拼接成像分析，分析區(qū)域可達毫米級 | —— |
樣品臺原位加熱與冷卻 | 低溫可達-140°C,高溫可達600°C | |
雙陽極X射線分析，可避免Ni/Mn/Co等元素與其俄歇譜峰的干擾 | —— | |
AES配件，可用于樣品表面微區(qū)分析 | 空間分辨率：<100nm | |
惰性氣氛轉移裝置，可保護電池、鈣鈦礦等樣品避免空氣和水分的影響； | —— |
| 檢測信息 | 檢測能力 | |
| 常規(guī)表面定性定量分析 | 定性定量分析固體樣品表面的主要成分； | 信息深度：<10nm |
分析固體樣品表面除氫和氦以外所有元素組成 ； | （Li~U） | |
分析特征/特定元素對應的化學態(tài)（價態(tài)和化學鍵接）； | 能量分辨：≤0.5eV | |
定量分析所測得的元素和化學態(tài)的相對含量（原子百分比）； | 檢出限：0.1% | |
微區(qū)分析，通過收集樣品表面激發(fā)出來的二次電子得到SXI影像，與分析源同光路可保證精準定位，掃描式小束斑X射線可分析<7.5um區(qū)域內(nèi)的元素組成信息 | X ray：≤7.5um | |
多點分析，可同時對樣品表面多個區(qū)域進行分析 | —— | |
| Mapping分析/Line分析 | 表征不同元素和化學態(tài)在分析區(qū)域的分布情況，從而判定成分分布的均勻性以及特定區(qū)域的成分組成等； | 空間分辨：≤10μm |
| 深度分析 | *深度剖析表征不同成分（元素和化學態(tài)）從表面到深度的縱向分布，可評價擴散、吸附、鈍化的程度以及表征多層膜層結構等； *多種離子槍配置，滿足不同材料的深度分析需求（無機材料——單原子Ar槍/有機材料——Ar團簇離子槍（GCIB）/陶瓷和玻璃材料等——C60團簇離子槍） | 深度分辨：納米尺度 |
| 特殊分析能力 | 大面積拼接成像分析，分析區(qū)域可達毫米級 | —— |
樣品臺原位加熱與冷卻 | 低溫可達-140°C,高溫可達600°C | |
雙陽極X射線分析，可避免Ni/Mn/Co等元素與其俄歇譜峰的干擾 | —— | |
AES配件，可用于樣品表面微區(qū)分析 | 空間分辨率：<100nm | |
惰性氣氛轉移裝置，可保護電池、鈣鈦礦等樣品避免空氣和水分的影響； | —— |
| 檢測信息 | 檢測能力 | |
| 常規(guī)表面分析 | 材料表面的價帶譜，功函數(shù)、HOMO位置等（可清潔表面） | —— |
| 冷熱UPS | 不同溫度點下的樣品表面，價帶譜，功函數(shù)、HOMO位置等 | 低溫可達-140°C,高溫可達600°C |
| 檢測信息 | 檢測能力 | |
| 常規(guī)表面分析 | 材料表面的導帶譜，電子親和勢、LUMO位置等（可清潔表面） | —— |
